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主要技术指标气体纯度:优于99.999%输出压力:0~0.4Mpa(出厂设定)最大流量:500ml/min(SCCM)实际尺寸:210x380x385mm主要技术特点全自动型,流量LED显示,自动跟踪,操作简单,维护方便气路液路相对独立,隔离良好,彻
产品详情
气体纯度:优于99.999%
输出压力:0~0.4Mpa(出厂设定)
最大流量:500ml/min(SCCM)
实际尺寸:210x380x385mm
全自动型,流量LED显示,自动跟踪,操作简单,维护方便
气路液路相对独立,隔离良好,彻底解决返液问题
双电解池串联,并采用微孔电极,电解效率高,使用寿命长
设有两级过压保护,停用时残留气体少,确保使用安全
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